فهرست

فصل اول 9.
بررسی منابع 9.
1-مقدمهای بر لایه نازک 10.
1-1-لایه 10.
1-1- 2- لایه نازک 10.
1-1- 3- پوشش های چند لایه نازک 11.
1-2-نانوحسگرها و کنترل آلودگی هوا 14
1-3- فیزیک لایه نازک 15
1-3-1- کیفیت لایه های نازک 17
1-3-2- خواص حاصل از ضخامت کم لایه ها 17
1-4- خواص مکانیکی 17
1-5- خواص الکتریکی 18
1-7- خواص نوری 22
1-8-خواص شیمیایی 23
1-9- خواص حرارتی 23
1-10- روش های ساخت و لایه نشانی 23
1-11 روش های فیزیکی(PHYSICAL METHOD): 24
1-11-1 تبخیر 24
1-11-2 SPUTTER DEPOSITION 26
1-12 روش های شیمیایی(CHEMICAL METHOD): 27
1-12-1- رسوب دهی شیمیایی بخار(CVD:CHEMICAL VAPOR DEPOSITION) 27
1-12-2- آبکاری الکتریکی(ELECTROPLATING) 28
1-12-3- آبکاری الکترولس(ELECTROLESS PLATING) 29
1-12-4 اپی تکسی باریکه مولکولی (MULECULAR BEAM EPITAXY)( MBE) 31
1-12-5 لایه گذاری به وسیله پالس لیزری PULSED LASER DEPOSITION: PLD 32
1-12-6 لایه نشانی حمام شیمیایی CHEMICAL BATH DEPOSITION: CBD 34

1-13-فرایند جذب 35
1-13-1 جاذبها 36
1-13-2- قدرت جذب یک ماده تابع عوامل زیر است : 37
1-14- حسگر گازی 37
1-14-1پارامترهای مورد توجه در انتخاب حساسه 38
1-14-2 انواع حساسه ها 40
فصل دوم 41
2-1- خصوصیات حسگرها 41
2-2- روش انجام آزمایش خواص حسگری 42
2-3- بررسی خواص حسگری 43
2-4- نانوحسگرهای گازی 46
2-5- کارکرد حسگرهای گازی 48
2-5- ترانزیستور اثر ميداني يا FET 48
2-5-1 ساختار و عملکرد ترانزیستور FET 49
2-3-2 ترانزیستور FET 51
2-3-4- تاثیر غلظت گاز بر حساسیت 66
2-4- سرعت پاسخگویی 68
2-5- تغییرات حساسیت با دما 69
2-6- اثر فشار جزئی اکسیژن 72
2-7- مکانیزم مربوط به حسگر 74
2-8- نیاز به افزودنیها 84
الف-تاثیر افزودنی بر حساسیت 85
ب- اثر افزودنی بر رفتار دمایی حسگر 86
ج-اثر افزودنی بر رفتار غلظت گازی حسگر 87
د.تاثیر افزودنی بر سرعت پاسخگویی 89
ه.اثر افزودنی بر ابعاد دانه ها 90
2-9- فرآیند های اصلی در حسگرهای آلاییده شده 91
1-10-2 الف افزودنی به عنوان کاتالیزور 92
2-10- حسگرهای اکسید فلزی دیگر 93
2-10-1 اکسید نیکل 94
2-11- تغییرات اهمی سنسور گاز: 98
2-12- جدول مشخصات نانو ذره اکسید روی: 100
2-13- بررسی انرژی بین باندی کانال 101
2-14-تعریف کانال هدایت و وابستگی اهمی کانال 101

فصل سوم

3-1- عملکرد نفوذ گاز 107
3-2 حساسیت: 109
3-3- ترانزیستور MOSFET: 110
3-4-بررسی ترانزیستور 111
3-5-ساختارسنسورگاز 113

شبیه سازی , نانوذرات , نانوالکتریک , مهندسی نانوفناوری , فناوری های نوین , سنسور گاز , شبیه سازی چند لایه .